半导体、集成电路生产的无尘车间要求半导体材料提纯作为发展半导体器件的重要基础。由于---和---规模集成电路的工艺要求,为得到高纯度的硅材料,原料和中间媒介的高纯度和生产环境的洁净度成为影响产品的一个---问题。集成电路芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关,而芯片的缺陷密度与空气中粒子个数有关。因此,集成电路的高速发展,不仅对空气中控制粒子的尺寸有---的要求,而且也需进一步控制粒子数;同时,对于---规模集成电路生产环境的化学污染控制也有相关的要求。
另外,如果的温度过高,则heap或ulpa这类滤层有可能被烧穿,使得危害更形雪上加霜,故而种假设无法成立。其次为蓄烟的问题,高架地板因为有开洞板的关系,会使得下层回风区火灾所产生的穿过开洞板,向上进入洁净室中而无法在高架地板下蓄积,使得排烟点的有效排烟范围于排烟闸门周围附近,因此只能抽取到少量的,洁净室工程,故第二种假设亦难成立。一般而言,此类设计模式常见于老旧厂房的洁净室中,主要是因为从前的半导体厂在建立时会考虑到烟控系统,后来因为需要,只好在一般排气风管上开洞,在加装控制闸门后做为排烟之用,如此对原来的设备及厂务系统影响少。
早期的工业洁净室个工业生产用洁净室是在第二次中投入使用的,其主要目的是提高1械、坦克、飞机用仪器的和---性。那时人们认识到,必须提高生产环境的洁净度,否则投弹---这样的装置就会出现故障。但当时只要假定洁净室要保持得象人们的住房那样清洁,于是便使用了不产生粒子的不锈钢做表面装修并保持其清洁。但人们还没有认识到,由机器和人员产生的大量悬浮粒子之扩散,应由大量的洁净送风使之降至低。
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